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La reproductibilité de l’épaisseur du film dans le processus de spin coating dépend d’une vitesse de rotation précise.
Apex propose à ses clients le spin coater EZspin-A1 avec une plage de vitesse unique de 50 à 12 000 RPM ainsi qu'une multitude d'autres fonctionnalités uniques.
La plage de vitesse et de durée élevée permet à l'utilisateur d'obtenir l'épaisseur ou la finesse souhaitée du film.
Caractéristiques techniques :
Avantages :