Description
La reproductibilité de l’épaisseur du film dans le processus de spin coating dépend d’une vitesse de rotation précise.
Apex propose à ses clients le spin coater EZspin-A1 avec une plage de vitesse unique de 50 à 12 000 RPM ainsi qu'une multitude d'autres fonctionnalités uniques.
La plage de vitesse et de durée élevée permet à l'utilisateur d'obtenir l'épaisseur ou la finesse souhaitée du film.
Caractéristiques techniques :
- Moteur DC à grande vitesse pour atteindre une vitesse rapide
- Plage de vitesse programmable de 50 à 12 000 tr/min
- Plage d'accélération programmable de 40 à 6 000 tr/min/sec
- Plage de durée de contrôle programmable de 1 à 9 999 secondes/étape
- 30 programmes avec 50 étapes par programme
- Option d'échauffement
- Option d'étalonnage
- Installation de drainage des déversements
- Mémoire de programme non volatile
- Écran LCD graphique
- Affichage en temps réel du graphique RPM par rapport au temps
- Entrée et contrôle via le clavier
- Port de purge d'azote et d'autres gaz inertes
- Interrupteur de libération du vide intégré
- Verrouillage du couvercle intégré
- Chambre de travail circulaire recouverte de PTFE de 200 mm de diamètre
- Couvercle de sécurité transparent photorésistant sur la chambre de travail
- Port de distribution d'échantillons in situ au-dessus de la chambre de travail
- Entrée d'alimentation universelle : 100 V - 230 V AC (50 Hz-60 Hz)
- Module de connectivité PC (En option)
- Module de durcissement UV in situ (En option)
- Module de séchage IR in situ (En option)
Avantages :
- Revêtement de film précis
- Mécanisme et électronique sophistiqués
- Interface utilisateur simple pour faciliter la recherche