Interféromètre laser : GBM01A / GBM08A | UV SPEEDRE

Lorsque l'interféromètre laser effectue une mesure de transmission, la lumière monochromatique émise par la source de lumière laser forme des franges d'interférence après avoir traversé verticalement les surfaces supérieure et inférieure de l'élément détecté et avoir été réfléchie par le réflecteur standard. Les franges d'interférence générées à chaque point dépendent de la différence de trajet optique des deux lumières cohérentes au point. Lorsque la différence de trajet optique est nλ+0,5λ, elle est affichée sous forme de frange sombre. Lorsque la différence de trajet optique est nλ+λ, elle est affichée sous forme de frange brillante.

Par conséquent, lorsque les deux faces de l'élément testé ne sont pas complètement parallèles et qu'il existe un angle, le long de la direction de cet angle, l'épaisseur de l'élément augmente progressivement, et la différence de trajet optique correspondante augmente progressivement, et la distribution d'espacement des bandes claires et sombres sera générée le long de la direction de l'angle. Plus l'angle est grand, plus les bandes sont denses.

Spécification de détection :

• La valeur PV est définie mathématiquement comme la valeur de crête, qui est la différence entre les valeurs maximales et minimales. L'unité est λ (longueur d'onde). La différence d'épaisseur de l'élément détecté correspond à la détection de transmission de l'interféromètre.
• Les valeurs RMS sont définies mathématiquement comme des valeurs quadratiques moyennes en λ (longueur d'onde), qui est une valeur statistique, et la taille du RMS reflète le caractère discret de ces valeurs de données. Correspondant à la détection de transmission de l'interféromètre, plus la valeur RMS est petite, plus l'épaisseur de l'élément détecté est lisse, moins il y a de fluctuations.
• Le nombre de racines de franges est une représentation intuitive de la différence d'épaisseur de l'élément inspecté visible à l'œil nu et est linéairement lié à la valeur PV. Moins il y a de racines de franges, plus la différence d'épaisseur de l'élément testé est faible.

Caractéristiques techniques :