Description
L'ellipsomètre spectroscopique est un instrument sans contact largement utilisé pour l'analyse et la mesure de couches minces. L'ellipsomètre spectroscopique modèle HO-SE-01 de Holmarc intègre la technologie d'ellipsométrie à analyseur rotatif (RAE) pour caractériser les échantillons de couches minces. Il utilise un détecteur à réseau CCD à grande vitesse pour collecter l'intégralité du spectre. Il mesure les films d'une épaisseur de quelques nanomètres jusqu'à des dizaines de microns et les propriétés optiques des matériaux transparents à absorbants. Il mesure avec précision les constantes optiques telles que l'indice de réfraction, l'épaisseur du film et le coefficient d'extinction.
Le modèle HO-SE-01 est équipé d'une lampe halogène de 50 W comme source lumineuse. Un ensemble de polariseurs rotatifs motorisés Glan-Thompson est utilisé comme polariseur et analyseur. Une platine Z motorisée est fournie pour la mise au point automatique de l'échantillon et une plate-forme d'inclinaison manuelle est fournie pour l'alignement de l'échantillon. Une platine XY motorisée avec une course de 30 mm x 30 mm est également fournie pour positionner l'échantillon pour la mesure à différents endroits. Une fibre optique avec connecteur SMA est utilisée pour coupler la lumière réfléchie de l'échantillon au spectromètre.
Un logiciel de mesure convivial est fourni pour l'étalonnage initial et les mesures automatiques. Un logiciel d'analyse avec un algorithme d'ajustement mathématique avancé est fourni pour la déduction de l'épaisseur et des propriétés optiques à partir des données mesurées.
Avantages :
- Algorithme d'ajustement mathématique avancé
- Sélection de différents modèles optiques
- Modèles optiques extensibles par l'utilisateur
- Les données peuvent être enregistrées sous forme de fichiers Excel ou texte
- Logiciel dédié à l'analyse
- Fonctionnement automatisé
- Mise au point automatique de l'échantillon
Caractéristiques techniques :
| |
HO-SE-01 |
HO-SE-01XY |
| Plage spectrale |
450 – 800 nm |
| Configuration de l'ellipsomètre |
RAE |
| Détecteur |
Capteur linéaire CCD 3648 pixels |
| Résolution spectrale |
1 nm |
| Source lumineuse |
Halogène |
| Angle d'incidence |
50 – 75° |
| (Résolution 0,1 degré, fonctionnement automatisé) |
| Plage de mesure de l'épaisseur |
20 nm – 10 microns |
| Précision |
±3% |
| Résolution de l'indice de réfraction mesuré |
0.001 |
| Épaisseur de l'échantillon |
0.3 mm – 8 mm |
| Déplacement de la platine XY de l'échantillon |
|
30 mm x 30 mm (motorisé) |
| Focalisation de l'échantillon |
Automatisé |
| Alignement de l'échantillon |
Inclinaison manuelle |
| Mesure de l'échantillon |
Automatique |
| Analyse de l'épaisseur |
Algorithmes d'ajustement mathématique avancés |
