Le profilomètre ST400 de Nanovea est conçu pour offrir une profilométrie de surface puissante et précise, combinée à une grande flexibilité et à une grande ouverture. Facile à utiliser, il peut combiner une gamme d'options avec une profilométrie standard ou haute vitesse.
Équipé d'une platine de 200 mm x 150 mm avec capteurs de mesure interchangeables, il permet de mesurer une large gamme de géométries d'échantillons, qu'ils soient mats ou réfléchissants.
Fonctionnement :
La technique confocale chromatique utilise une lumière blanche traversant une série de lentilles présentant un degré élevé d'aberrations chromatiques. Chaque longueur d'onde se focalise à une distance différente, créant ainsi la plage de mesure verticale. Lorsqu'une surface d'intérêt se trouve dans la plage de mesure, une seule longueur d'onde de la lumière blanche est focalisée, tandis que toutes les autres sont floues. Seule la longueur d'onde focalisée traverse le filtre sténopé pour atteindre le spectromètre CCD. La longueur d'onde physique mesurée correspond à une position verticale. Aucun algorithme complexe n'est utilisé pour obtenir la valeur de hauteur, garantissant des résultats précis pour toutes les conditions de surface, contrairement à d'autres techniques.
Avantages :
- Platine d'échantillon de 200 mm x 150 mm
- Mesure 2D et 3D
- Robuste et facile à utiliser
- Mesure d'échantillons plats et courbes grâce à des capteurs interchangeables
- Mesure d'échantillons mats et réfléchissants
- Mesure sur toute la plage de la platine, sans assemblage d'images ni mise au point
- Logiciel d'analyse puissant
- Microscope en option
- Capteurs haute vitesse disponibles
Caractéristiques techniques :
- Course de l'axe X-Y : 200 mm x 150 mm
- Déplacement de l'axe Z : 50 mm motorisé (dégagement manuel supplémentaire disponible)
- Vitesse maximale X-Y : 40 mm/s
Spécifications du capteur – Vitesse standard :
| Vitesse standard | PS1 | PS2 | PS3 | PS4 | PS5 | PS6 |
|---|
| Plage de hauteur maximale |
110 µm |
300 µm |
1.1 mm |
3.5 mm |
10 mm |
24 mm |
| Distance de travail |
3.35 mm |
10.8 mm |
12 mm |
16.2 mm |
25.9 mm |
20 mm |
| Précision latérale X-Y |
0.9 µm |
1.2 µm |
2.0 µm |
3 µm |
7 µm |
8 µm |
| Répétabilité de la hauteur* |
1.2 nm |
2.2 nm |
3.4 nm |
17 nm |
31 nm |
41 nm |
Spécifications du capteur – Haute vitesse :
| Grande vitesse | LS1 | LS2 | LS3 |
|---|
| Plage de hauteur maximale |
200 µm |
0.95 mm |
3.9 mm |
| Distance de travail |
5.3 mm |
18.5 mm |
41 mm |
| Répétabilité de la hauteur Ra* |
14 nm |
21 nm |
70 nm |
| Précision latérale de chaque point |
1 µm |
2 µm |
5 µm |
| Taux d'acquisition (points par seconde) |
384 KHz |
*Mesure à point fixe sur verre. Variation moyenne de la hauteur Ra pour 1 200 points (100 échantillonnages).
APPLICATIONS EN PROFILOMÉTRIE SANS CONTACT 2D ET 3D :
- Rugosité et finition
- Texture et grain
- Géométrie et forme
- Hauteur et épaisseur des marches
- Volume et surface
- Planéité et gauchissement
