Description
Le profilomètre AFM Pro de Nanovea est conçu pour fournir une profilométrie de surface puissante et précise, combinée à l'AFM et à la vidéomicroscopie.
Équipé d'une platine de 200 mm x 150 mm avec capteurs de mesure interchangeables, il permet de mesurer une large gamme de géométries d'échantillons, qu'ils soient mats ou réfléchissants. Des mesures à vitesse standard ou élevée sont possibles.
GAMME ANGSTROM
L'AFM étend les capacités 3D dans la gamme subnanométrique jusqu'à un seul angström, y compris latéralement, ce qui n'est réalisable avec aucune technique optique.
MICROSCOPE VIDÉO
Avec le microscope à zoom vidéo optique, l'imagerie microscopique à fort grossissement peut être combinée à une caractérisation complète de la surface.
Fonctionnement :
La technique confocale chromatique utilise une lumière blanche traversant une série de lentilles présentant un degré élevé d'aberrations chromatiques. Chaque longueur d'onde se focalise à une distance différente, créant ainsi la plage de mesure verticale. Lorsqu'une surface d'intérêt se trouve dans la plage de mesure, une seule longueur d'onde de la lumière blanche est focalisée, tandis que toutes les autres sont floues. Seule la longueur d'onde focalisée traverse le filtre sténopé pour atteindre le spectromètre CCD. La longueur d'onde physique mesurée correspond à une position verticale. Aucun algorithme complexe n'est utilisé pour obtenir la valeur de hauteur, garantissant des résultats précis pour toutes les conditions de surface, contrairement à d'autres techniques.
Avantages :
- Platine d'échantillon de 200 mm x 150 mm
- Mesure 2D et 3D
- Robuste et facile à utiliser
- Mesure d'échantillons plats et courbes grâce à des capteurs interchangeables
- Mesure d'échantillons mats et réfléchissants
- Mesure sur toute la plage de la platine, sans assemblage d'images ni mise au point
- Logiciel d'analyse puissant
- Microscope en option
- Capteurs haute vitesse disponibles
Caractéristiques techniques :
- Course de l'axe X-Y : 200 mm x 150 mm
- Déplacement de l'axe Z : 50 mm motorisé (dégagement manuel supplémentaire disponible)
- Vitesse maximale X-Y : 40 mm/s
Spécifications du capteur – Vitesse standard :
| Vitesse standard | PS1 | PS2 | PS3 | PS4 | PS5 | PS6 |
|---|
| Plage de hauteur maximale |
110 µm |
300 µm |
1.1 mm |
3.5 mm |
10 mm |
24 mm |
| Distance de travail |
3.35 mm |
10.8 mm |
12 mm |
16.2 mm |
25.9 mm |
20 mm |
| Précision latérale X-Y |
0.9 µm |
1.2 µm |
2.0 µm |
3 µm |
7 µm |
8 µm |
| Répétabilité de la hauteur* |
1.2 nm |
2.2 nm |
3.4 nm |
17 nm |
31 nm |
41 nm |
Spécifications du capteur – Haute vitesse :
| Grande vitesse | LS1 | LS2 | LS3 |
|---|
| Plage de hauteur maximale |
200 µm |
0.95 mm |
3.9 mm |
| Distance de travail |
5.3 mm |
18.5 mm |
41 mm |
| Répétabilité de la hauteur Ra* |
14 nm |
21 nm |
70 nm |
| Précision latérale de chaque point |
1 µm |
2 µm |
5 µm |
| Taux d'acquisition (points par seconde) |
384 KHz |
*Mesure à point fixe sur verre. Variation moyenne de la hauteur Ra pour 1 200 points (100 échantillonnages).
APPLICATIONS EN PROFILOMÉTRIE SANS CONTACT 2D ET 3D :
- Rugosité et finition
- Texture et grain
- Géométrie et forme
- Hauteur et épaisseur des marches
- Volume et surface
- Planéité et gauchissement
