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Les produits piézo-céramiques sont utilisés comme composants fonctionnels dans une large gamme d'équipements dans de nombreux domaines différents.
Les produits utilisant un phénomène piézoélectrique ou ultrasonique se retrouvent dans des objets du quotidien.
La technologie piezoélectrique dans différents domaines :
La piézocéramique est présente à l'intérieur de divers appareils, mais n'apparait pas visuellement.
La céramique piézoélectrique est un matériau qui transforme une pression mécanique en une tension électrique.
De la R & D à la production en passant par le développement, Fuji Ceramics contrôle tous les étapes de la fabrication de leurs produits
Le titanate de zirconate de plomb (Pb(Zr-Ti)O3), communément appelé PZT, est un matériau ferroélectrique à structure cristalline pérovskite qui présente une piézoélectricité importante. La composition de base du PZT est le titanate de plomb (PbTiO3) et le zirconate de plomb (PbZrO3). En modifiant le rapport de mélange de ces deux composants, il est possible de contrôler les propriétés physiques telles que la piézoélectricité, la diélectricité et l'élasticité, ce qui permet de créer des matériaux céramiques piézoélectriques adaptés à des applications spécifiques. |
Les piézocéramiques sont des matériaux polycristallins et sont fabriquées par deux procédés principaux : la fabrication de poudres céramiques et le processus de cuisson où les poudres sont formées et chauffées à une température élevée pour produire une liaison de particules.
D'autres procédés comprennent l'ajout d'additifs pour adapter les propriétés électriques à l'application et l'application d'une tension continue élevée à l'élément à haute température pour polariser la direction du cristal.
Les domaines d'application des céramiques piézoélectriques peuvent être largement divisés en deux catégories : les capteurs et les transducteurs.
Les transducteurs sont utilisés comme entrée électrique - vibration mécanique - sortie électrique et comprennent les résonateurs céramiques, les filtres, les buzzers piézoélectriques et les transformateurs piézoélectriques.
Les transducteurs comprennent des nettoyeurs et des actionneurs à ultrasons avec entrée électrique et sortie mécanique, ainsi que des capteurs de vibrations et de chocs et des générateurs piézoélectriques avec entrée mécanique et sortie électrique. L'éventail des applications à ce jour est très large, mais voici quelques-uns des domaines d'application.
Pour les instruments de précision :
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Dans les équipements médicaux :
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Dans le secteur automobile :
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Pour les équipements marins :
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Pour les équipements à semi-conducteurs :
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Dans l'équipement de bien-être :
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Pour les produits de consommation :
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Capteurs de force :
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Capteurs d'accélération :
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Capteurs AE (Emission Acoustique) :
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Spécifications des matériaux :
PZT-Pb(Zr・Ti)O3/The lead zirconate titanate materials ( hard ceramics ). | ||||||||
Material No. | C-2 | C-21 | C-201 | C-202 | C-203 | C-204 | ||
Use exampls. | Ultrasonic washing machines Underwater sonars Fish detectors Facial equipments using ultrasonic |
In-vehicle sensors Voltage sensors sensors for optical fiber | Ultrasonic washing machines Ultrasonic welding machine | ultrasonic humidifier | ||||
Coupling factors. | ×10−2 | kp | 63 | 59 | 60 | 56 | 59 | 63 |
k31 | 37 | 34 | 34 | 32 | 35 | 37 | ||
k33 | 76 | 71 | 71 | 69 | 71 | 74 | ||
kt | 52 | 48 | 46 | 47 | 49 | 52 | ||
k15 | 77 | 74 | 74 | 69 | 70 | 71 | ||
Frequency constants. | m・HZ | Np | 2100 | 2210 | 2170 | 2240 | 2130 | 2110 |
N31 | 1550 | 1630 | 1570 | 1620 | 1530 | 1530 | ||
N33 | 1410 | 1510 | 1500 | 1550 | 1470 | 1450 | ||
Nt | 2020 | 2090 | 2100 | 2120 | 2020 | 2070 | ||
N15 | 880 | 910 | 930 | 990 | 920 | 930 | ||
Dielectric constants. | ε11T/ε0 | 1970 | 1900 | 2010 | 1700 | 1470 | 2240 | |
ε33T/ε0 | 1460 | 1400 | 1550 | 1600 | 1450 | 2200 | ||
Piezoelectric charge constants. | ×10−12 m/V(C/N) |
d31 | -158 | -131 | -145 | -130 | -145 | -190 |
d33 | 367 | 288 | 330 | 315 | 325 | 435 | ||
d15 | 692 | 634 | 640 | 540 | 520 | 650 | ||
Piezoelectric voltage constants. | ×10−3 V・m/N(m2/C) |
g31 | -12.7 | -10.7 | -10.3 | -9.4 | -11.2 | -9.7 |
g33 | 29.2 | 27.2 | 24.3 | 22.3 | 25.6 | 22.0 | ||
g15 | 39.7 | 37.7 | 36.0 | 33.6 | 39.6 | 32.7 | ||
Yungs mdulus. | ×1010 N/m2 |
Y11E=1/s11E | 7.3 | 8.3 | 7.9 | 8.2 | 7.2 | 7.2 |
Y33E=1/s33E | 5.3 | 6.4 | 6.4 | 6.8 | 6.0 | 5.7 | ||
Y55E=1/s55E | 2.2 | 2.3 | 2.4 | 2.8 | 2.3 | 2.4 | ||
Poisson's ratio. | σ | 0.30 | 0.29 | 0.30 | 0.31 | 0.29 | 0.29 | |
Mechanical Q | Qm | 1200 | 1400 | 900 | 1200 | 2000 | 520 | |
Dissipation factor. | % | tan δ | 0.25 | 0.30 | 0.29 | 0.20 | 0.30 | 0.25 |
Curie point. | ℃ | Tc | 300 | 307 | 290 | 290 | 350 | 250 |
Density. | ×103 kg/m3 | ρ | 7.60 | 7.80 | 7.8 | 7.85 | 7.7 | 7.65 |
Temp. coefficient. | frTC ppm/℃ | -40~+20℃ | 200 | 110 | 400 | 400 | 240 | 140 |
+20~+80℃ | 90 | 110 | 30 | 150 | 240 | 120 | ||
CTC ppm/℃ |
-40~+20℃ | 1820 | 1810 | 500 | 300 | 1900 | 1900 | |
+20~+80℃ | 4120 | 3630 | 4100 | 3000 | 3200 | 3600 | ||
Characteristics. | For high power driving | High d33・ Stable temp. coefficient |
High d33 & Qm High Tc |
Middle Qm High k33・d33. |
PZT-Pb(Zr・Ti)O3/The lead zirconate titanate materials ( hard ceramics ). | |||||||
Material No. | C-205 | C-213 | C-213P | C-3 | C-4 | ||
Use exampls. | Ultrasonic washing machines & welding machines, Medical nebulizers & scalpels, Dental scalers, Ultrasonic motors, & for other ultrasonic equipments |
Ultrasonic test equipments & Thickness indicators Bolt axial tension meters | |||||
Coupling factors. | ×10−2 | kp | 58 | 58 | 60 | 45 | 36 |
k31 | 34 | 34 | 35 | 26 | 23 | ||
k33 | 70 | 70 | 70 | 64 | 57 | ||
kt | 49 | 48 | 47 | 49 | 39 | ||
k15 | 68 | 70 | 69 | 64 | 53 | ||
Frequency constants. | m・HZ | Np | 2270 | 2230 | 2210 | 2460 | 2520 |
N31 | 1660 | 1620 | 1630 | 1810 | 1840 | ||
N33 | 1560 | 1540 | 1540 | 1710 | 1760 | ||
Nt | 2110 | 2090 | 2070 | 2140 | 2150 | ||
N15 | 990 | 960 | 950 | 1060 | 1100 | ||
Dielectric constants. | ε11T/ε0 | 1650 | 1590 | 1750 | 820 | 560 | |
ε33T/ε0 | 1580 | 1470 | 1470 | 510 | 330 | ||
Piezoelectric charge constants. | ×10−12 m/V(C/N) |
d31 | -136 | -135 | -139 | -55 | -39 |
d33 | 322 | 310 | 306 | 154 | 110 | ||
d15 | 492 | 510 | 542 | 381 | 201 | ||
Piezoelectric voltage constants. | ×10−3 V・m/N(m2/C) |
g31 | -9.7 | -10.2 | -10.7 | -12.0 | -12.8 |
g33 | 22.7 | 23.4 | 23.5 | 32.4 | 33.7 | ||
g15 | 33.6 | 36.4 | 34.9 | 43.5 | 40.8 | ||
Yungs mdulus. | ×1010 N/m2 |
Y11E=1/s11E | 8.6 | 8.2 | 8.4 | 10.0 | 10.3 |
Y33E=1/s33E | 6.8 | 6.6 | 6.7 | 8.2 | 8.7 | ||
Y55E=1/s55E | 2.7 | 2.6 | 3.3 | 2.5 | 3.5 | ||
Poisson's ratio. | σ | 0.29 | 0.29 | 0.28 | 0.28 | 0.29 | |
Mechanical Q | Qm | 2140 | 2500 | 1520 | 1900 | 1700 | |
Dissipation factor. | % | tan δ | 0.40 | 0.30 | 0.10 | 0.20 | 0.35 |
Curie point. | ℃ | Tc | 280 | 315 | 318 | 270 | 330 |
Density. | ×103 kg/m3 | ρ | 7.8 | 7.8 | 7.9 | 7.60 | 7.60 |
Temp. coefficient. | frTC ppm/℃ | -40~+20℃ | 30 | 200 | 150 | 10 | 20 |
+20~+80℃ | 200 | 100 | 20 | -180 | -170 | ||
CTC ppm/℃ |
-40~+20℃ | 2490 | 2100 | 1900 | 2670 | 2250 | |
+20~+80℃ | 3230 | 3400 | 3900 | 5370 | 4360 | ||
Characteristics. | High Qm & d33. | Low tan δ | Low ε33T |
PZT-Pb(Zr・Ti)O3/The lead zirconate titanate materials ( soft ceramics ) | |||||||||||
Material No. | C-5 | C-6 | C-6H | C-62 | C-63 | C-64 | C-601 | C-7 | C-8 | ||
Use exampls. | Bone MICs, Sonic sensors |
Transmit-receive sensors of ultrasonic (for cars, flowmeters, bubble sensors & level meters, etc.), Ultrasonic medical probes (for diagnostic imaging), for various actuators | Sound pickups | ||||||||
Coupling factors. | ×10−2 | kp | 64 | 66 | 70 | 68 | 59 | 63 | 65 | 58 | 65 |
k31 | 38 | 39 | 41 | 40 | 33 | 35 | 37 | 34 | 38 | ||
k33 | 73 | 76 | 77 | 77 | 68 | 73 | 76 | 72 | 77 | ||
kt | 53 | 52 | 50 | 52 | 48 | 50 | 50 | 53 | 52 | ||
k15 | 78 | 74 | 76 | 76 | 66 | 71 | 73 | 64 | 70 | ||
Frequency constants. | m・HZ | Np | 2060 | 1960 | 1960 | 1960 | 2130 | 1970 | 2060 | 2080 | 1980 |
N31 | 1530 | 1420 | 1420 | 1440 | 1480 | 1380 | 1460 | 1440 | 1410 | ||
N33 | 1400 | 1350 | 1380 | 1350 | 1500 | 1360 | 1380 | 1410 | 1350 | ||
Nt | 2050 | 2010 | 2110 | 2040 | 2060 | 1970 | 2070 | 2070 | 2050 | ||
N15 | 850 | 850 | 860 | 850 | 950 | 850 | 890 | 950 | 910 | ||
Dielectric constants. | ε11T/ε0 | 2140 | 2270 | 2550 | 2730 | 1850 | 1960 | 2400 | 3670 | 3100 | |
ε33T/ε0 | 1170 | 2130 | 2400 | 2600 | 2000 | 1850 | 2300 | 4660 | 3480 | ||
Piezoelectric charge constants. | ×10−12 m/V(C/N) |
d31 | -140 | -210 | -240 | -234 | -165 | -185 | -210 | -271 | -274 |
d33 | 333 | 472 | 490 | 500 | 320 | 435 | 500 | 665 | 627 | ||
d15 | 764 | 758 | 800 | 860 | 530 | 670 | 730 | 737 | 779 | ||
Piezoelectric voltage constants. | ×10−3 V・m/N(m2/C) |
g31 | -14.5 | -11.5 | -11.2 | -10.6 | -9.5 | -11.4 | -10.0 | -6.8 | -8.8 |
g33 | 32.1 | 25.0 | 23.2 | 24.4 | 23.0 | 24.4 | 23.0 | 15.0 | 19.7 | ||
g15 | 40.3 | 37.7 | 35.6 | 35.6 | 32.5 | 38.5 | 34.0 | 22.7 | 28.4 | ||
Yungs mdulus. | ×1010 N/m2 |
Y11E=1/s11E | 7.2 | 6.2 | 6.3 | 6.3 | 6.7 | 5.9 | 6.7 | 6.1 | 6.0 |
Y33E=1/s33E | 5.3 | 4.9 | 5.2 | 4.9 | 6.2 | 5.1 | 5.0 | 5.2 | 4.8 | ||
Y55E=1/s55E | 1.9 | 1.9 | 2.0 | 1.9 | 2.5 | 2.0 | 2.2 | 2.4 | 2.2 | ||
Poisson's ratio. | σ | 0.29 | 0.32 | 0.31 | 0.30 | 0.37 | 0.34 | 0.33 | 0.39 | 0.32 | |
Mechanical Q | Qm | 90 | 80 | 70 | 75 | 90 | 80 | 110 | 45 | 65 | |
Dissipation factor. | % | tan δ | 1.65 | 1.60 | 2.0 | 1.65 | 1.2 | 1.5 | 0.9 | 2.50 | 1.90 |
Curie point. | ℃ | Tc | 305 | 295 | 290 | 245 | 295 | 345 | 285 | 162 | 193 |
Density. | ×103 kg/m3 | ρ | 7.65 | 7.65 | 7.8 | 7.60 | 7.6 | 7.7 | 7.8 | 7.40 | 7.45 |
Temp. coefficient. | frTC ppm/℃ | -40~+20℃ | -550 | -330 | -250 | -380 | -20 | -180 | -260 | -540 | -340 |
+20~+80℃ | -680 | -130 | -5 | 170 | 80 | 180 | -120 | 180 | -20 | ||
CTC ppm/℃ |
-40~+20℃ | 4230 | 3590 | 3400 | 3860 | 1850 | 3500 | 3300 | 4330 | 3940 | |
+20~+80℃ | 7960 | 4850 | 4000 | 5610 | 2550 | 3600 | 4000 | 8030 | 6050 | ||
Characteristics. | Middle ε33T |
General- purpose | High k33 & d33 | Low temp. coefficient | High Tc | High k33 & d33 |
High ε33E Low Qm |
Middle ε33E |
PZT-Pb(Zr・Ti)O3/The lead zirconate titanate materials ( soft ceramics ). | ||||||||||
Material No. | C-82 | C-83H | C-84 | C-9 | C-91 | C-91H | C-92H | C-93 | ||
Use exampls. | Ultrasonic medical probes (for diagnostic imaging), & For various actuators | |||||||||
Coupling factors. | ×10−2 | kp | 65 | 73 | 69 | 57 | 60 | 69 | 72 | 68 |
k31 | 37 | 43 | 43 | 37 | 37 | 42 | 44 | 40 | ||
k33 | 75 | 78 | 79 | 69 | 69 | 74 | 78 | 77 | ||
kt | 51 | 51 | 54 | 49 | 49 | 50 | 51 | 53 | ||
k15 | 70 | 76 | 76 | 58 | 65 | 68 | 69 | 71 | ||
Frequency constants. | m・HZ | Np | 2030 | 1930 | 1900 | 2040 | 1960 | 1950 | 1910 | 1890 |
N31 | 1430 | 1410 | 1400 | 1440 | 1380 | 1410 | 1430 | 1410 | ||
N33 | 1390 | 1380 | 1290 | 1390 | 1380 | 1390 | 1320 | 1300 | ||
Nt | 2090 | 2150 | 2000 | 1950 | 1960 | 2080 | 2070 | 1970 | ||
N15 | 900 | 880 | 840 | 950 | 920 | 900 | 930 | 870 | ||
Dielectric constants. | ε11T/ε0 | 3090 | 3900 | 4870 | 6050 | 4400 | 4900 | 4400 | 5600 | |
ε33T/ε0 | 3650 | 4200 | 4760 | 6640 | 5500 | 5800 | 5300 | 6050 | ||
Piezoelectric charge constants. | ×10−12 m/V(C/N) |
d31 | -266 | -335 | -356 | -354 | -330 | -375 | -366 | -371 |
d33 | 600 | 670 | 774 | 718 | 640 | 710 | 770 | 826 | ||
d15 | 781 | 980 | 1140 | 827 | 820 | 920 | 848 | 1080 | ||
Piezoelectric voltage constants. | ×10−3 V・m/N(m2/C) |
g31 | -8.3 | -9.0 | -8.4 | -6.0 | -7.0 | -7.3 | -7.8 | -6.9 |
g33 | 18.5 | 17.9 | 18.4 | 12.2 | 13.5 | 13.9 | 16.4 | 15.4 | ||
g15 | 28.6 | 28.3 | 26.6 | 15.5 | 21.0 | 21.2 | 21.8 | 21.8 | ||
Yungs mdulus. | ×1010 N/m2 |
Y11E=1/s11E | 6.2 | 6.1 | 6.0 | 6.5 | 5.9 | 6.4 | 6.6 | 6.3 |
Y33E=1/s33E | 5.1 | 5.1 | 4.4 | 5.4 | 5.4 | 5.5 | 4.9 | 4.6 | ||
Y55E=1/s55E | 2.2 | 2.1 | 1.9 | 2.6 | 2.4 | 2.4 | 2.6 | 2.5 | ||
Poisson's ratio. | σ | 0.34 | 0.29 | 0.30 | 0.36 | 0.38 | 0.32 | 0.28 | 0.27 | |
Mechanical Q | Qm | 65 | 65 | 46 | 25 | 30 | 24 | 28 | 67 | |
Dissipation factor. | % | tan δ | 1.90 | 2.2 | 2.0 | 4.5 | 3.0 | 3.7 | 3.6 | 1.7 |
Curie point. | ℃ | Tc | 195 | 220 | 186 | 130 | 165 | 170 | 183 | 150 |
Density. | ×103 kg/m3 | ρ | 7.50 | 7.7 | 7.67 | 7.75 | 7.75 | 8.1 | 8.1 | 7.91 |
Temp. coefficient. | frTC ppm/℃ | -40~+20℃ | -260 | -290 | -704 | -970 | -1000 | -1370 | -1580 | -690 |
+20~+80℃ | 30 | 100 | -185 | 540 | 550 | 330 | 660 | 1360 | ||
CTC ppm/℃ |
-40~+20℃ | 3650 | 3500 | 4360 | 7610 | 6000 | 8400 | 8450 | 7190 | |
+20~+80℃ | 5440 | 5300 | 7590 | 9630 | 4500 | 8800 | 6780 | 5360 | ||
Characteristics. | High ε33T・d33、Low Qm |
PT-PbTiO3 ● PN-PbNb2O6. BiT-Bi4Ti3O12/The lead titanate, metaniobate & bismuth titanate materials. | |||||||
Material No. | PT | PN | BiT | ||||
M-1 | M-5 | M-6 | F-100 | B-600 | |||
Use exampls. | Ultrasonic flowmeters | Ultrasonic test equipments Ultrasonic level meters Touch-sensitive LCDs High-intensity focused ultrasonics | Ultrasonic test equipments Ultrasonic thickness gauges | Ultrasonic flowmeters (high-temp. type) | |||
Coupling factors. | ×10−2 | kp | 6.0 | 6.0 | 4.0 | (30) | 4.7 |
k31 | 6.5 | 6.0 | 2.6 | (24) | 2.9 | ||
k33 | 37 | 47 | 53 | (31) | - | ||
kt | 38 | 43 | 51 | 39 | 20.1 | ||
k15 | - | - | 37 | (39) | - | ||
Frequency constants. | m・HZ | Np | 2630 | 2800 | 2860 | (2015) | 2710 |
N31 | 2050 | 2150 | 2200 | (1570) | 2080 | ||
N33 | 2060 | 2150 | 2240 | (1580) | - | ||
Nt | 2130 | 2250 | 2230 | 1630 | 2180 | ||
N15 | - | - | 1450 | (1030) | - | ||
Dielectric constants. | ε11T/ε0 | - | - | 250 | (370) | - | |
ε33T/ε0 | 185 | 220 | 215 | 300 | 150 | ||
Piezoelectric charge constants. | ×10−12 m/V(C/N) |
d31 | -4.3 | -4.7 | -3.7 | (55) | -2.9 |
d33 | 43.9 | 58.2 | 71.0 | 80 | (19.0) | ||
d15 | - | - | 41.0 | (145) | - | ||
Piezoelectric voltage constants. | ×10−3 V・m/N(m2/C) |
g31 | -2.7 | -2.4 | -1.6 | (19) | -2.2 |
g33 | 25.1 | 30.3 | 37.3 | (22) | (14.3) | ||
g15 | - | - | 21.3 | (45) | - | ||
Yungs mdulus. | ×1010 N/m2 |
Y11E=1/s11E | 11.9 | 13.9 | 13.2 | (5.4) | 12.4 |
Y33E=1/s33E | 13.5 | 14.4 | 11.6 | (5.5) | - | ||
Y55E=1/s55E | - | - | 8.7 | (2.3) | - | ||
Poisson's ratio. | σ | 0.26 | 0.20 | 0.21 | ー | 0.22 | |
Mechanical Q | Qm | 1200 | 1450 | 850 | 20 | 5980 | |
Dissipation factor. | % | tan δ | 1.5 | 1.5 | 2.0 | (1.0) | 0.30 |
Curie point. | ℃ | Tc | 385 | 310 | 250 | 530 | 670 |
Density. | ×103 kg/m3 | ρ | 7.6 | 7.4 | 6.92 | 5.7 | 7.2 |
Temp. coefficient. | frTC ppm/℃ | -40~+20℃ | -70 | -60 | -50 | (1400) | -66 |
+20~+80℃ | -70 | -40 | -100 | (800) | -66 | ||
CTC ppm/℃ |
-40~+20℃ | 2350 | 2550 | 3000 | (950) | 450 | |
+20~+80℃ | 3600 | 4000 | 4500 | (1100) | 820 | ||
Characteristics. | Anisotropics, kt>kp | Low Qm・ High Tc・ Low ρ | Anisotropics, kt>kp High Qm |
||||
High Tc | High Qm | High kt |
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